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半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓切割工藝中液體質(zhì)量的監(jiān)測

  • 2015/9/1
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  當(dāng)切割晶片時,一種特殊的處理液會用于冷卻工作時的的鋸片,來潤滑和移除產(chǎn)生的顆粒。為了讓鋸片和研磨盤的潤濕達(dá)到最優(yōu)狀態(tài),在處理液中要必須加入表面活性劑。目前為止,在監(jiān)測表面活性劑濃度時出現(xiàn)了很多問題。處理液的樣品如果送到外面的實(shí)驗(yàn)室,會產(chǎn)生高的成本,而且得到測量結(jié)果和從實(shí)驗(yàn)室拿到這個結(jié)果也會有時差。所以,快速的表面活性劑濃度的矯正無法達(dá)成。SITA測量技術(shù)有限公司的創(chuàng)新性氣泡壓力法表面張力儀會在每一個應(yīng)用領(lǐng)域幫助您找到優(yōu)化的解決方法。所有的表面張力儀可以讓動態(tài)表面張力的測量簡單并快速,量化數(shù)據(jù)呈現(xiàn)液體的表面活性劑濃度。SITA表面張力儀可以在短短幾秒鐘完成測量,所以我們可以將實(shí)際值和期望值迅速的作比較。這樣在產(chǎn)生偏差的情況下,可以及時的找到解決方法。

  在此應(yīng)用領(lǐng)域中,SITA t15和過程監(jiān)控系統(tǒng)SITA ST是最合適的測量儀器。SITA t15的體積小,輕便,但卻是很精確的,可與實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的測量精度相媲美的手持式表面張力儀,因此可以輕易和快速的進(jìn)行隨機(jī)測試來獲得適當(dāng)?shù)挠跇O限值對比的測試結(jié)果。

動態(tài)表面張力和表面活性劑濃度的關(guān)系

  動態(tài)表面張力和表面活性劑濃度的關(guān)系

  內(nèi)部存儲設(shè)置可以儲存多達(dá)25個測量結(jié)果。集成的USB端口可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X上,電腦也可以作為一個外接電源。運(yùn)行時間可達(dá)十小時的充電電池也能通過USB端口充電。SITA t15非常人性化,所以操作此儀器不需要任何專業(yè)知識。測量儀器的所有功能可以直觀的從按鍵上看出來。對于某些應(yīng)用,抽檢表面活性劑濃度值的隨機(jī)測驗(yàn)結(jié)果是不夠的,這時在線表面張力監(jiān)控系統(tǒng)SITAST為用戶的需求提供個體化的解決方案。系統(tǒng)定期的集中測量晶圓切割時處理液的表面張力并自動地將其與所需值作比較。一旦獲得低于或超出規(guī)定值的測量結(jié)果,機(jī)器就會發(fā)出警告信號。因此,當(dāng)溶液濃度不再符合理想濃度時,我們能在短時間內(nèi)做出反應(yīng)。不僅如此,我們不再需要專門監(jiān)控處理液質(zhì)量的員工。

SITA ST在線式表面張力儀

SITAST在線表面張力儀

  用SITA測量科技有限公司的表面張力儀使表面活性劑的濃度的監(jiān)測更加可靠,也可以為了在切割性能和提高晶圓輸出量實(shí)現(xiàn)積極的效果。另外,也可以避免表面活性劑的過量使用,節(jié)省成本。

t15表面張力儀

t15表面張力儀

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